000 00328nam a2200133Ia 4500
008 190711s9999 xx 000 0 und d
020 _a085274269X
082 _a621.38171 G883
100 _aGROVENOR.C.R.M
245 0 _aMICROELECTRONIC MATERIALS
260 _aBRISTOL
_bAdam Hilger
_c1989
300 _a24X16
942 _cBK
_2DDC
999 _c22528
_d22528